特許
J-GLOBAL ID:200903074542717547

ガラス基材上に被覆を形成する方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青木 朗 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-153257
公開番号(公開出願番号):特開平5-208849
出願日: 1992年06月12日
公開日(公表日): 1993年08月20日
要約:
【要約】【目的】 フロート浴の囲い内でその雰囲気を乱さずに、ガラス基材上にケイ素、酸素及び炭素に基づく全体的な屈折率が2未満で厚さが50nmを超える被覆を形成するのを可能にする方法を提供する。【構成】 被覆の前駆物質ガス混合物とガラスとの接触時間を、酸化剤を含有する前駆物質ガス混合物から当該被覆を形成するのに必要な接触時間よりも長く維持する。
請求項(抜粋):
ガス流路での熱分解によって、酸化成分が本質的になくてシランとエチレン列化合物とを含んでなる前駆物質ガス混合物から移動しているガラス基材の表面に、ケイ素と酸素と炭素とに基づきそして干渉機能を有する被覆を形成するための方法であって、前駆物質ガス混合物とガラスとの接触時間を当該被覆を酸化剤を含有してなる前駆物質ガス混合物から堆積させる場合にそのために必要な接触時間よりも長く維持し、そしてこの被覆の屈折率が1.45〜2であり、厚さが50nmを超えることを特徴とするガラス基材上に被覆を形成する方法。
IPC (5件):
C03C 17/245 ,  C01B 33/04 ,  C03B 18/12 ,  C03C 17/34 ,  G02B 1/10
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭61-063545
  • 特開昭64-079040

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