特許

J-GLOBAL ID：200903074548408767

フッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法

発明者： 福島 守之 ,  馬場 昭 ,  吉原 稔 ,  表 雄一
出願人/特許権者： 関東電化工業株式会社
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267350
公開番号（公開出願番号）：特開平7-116466
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【目的】 フッ素原子含有ガスを含む排ガスについての従来の燃焼式の分解処理法の欠点を軽減、解消する新方式の処理方法を提供すること。【構成】 フッ素原子を含有するエッチングガスもしくはクリーニングガス又はこれらを含む排ガスを、水又は/及び酸素を含むガスの存在下で500〜1500°Cの温度において、フッ化水素処理無機酸化物からなる分解剤と接触させることを特徴とするフッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法、及びさらに分解ガスを吸着剤と接触させ清浄、無害化する方法。

請求項（抜粋）：

フッ素原子を含有するエッチングガスもしくはクリーニングガス又はこれらを含む排ガスを、水又は/及び酸素を含むガスの存在下で500〜1500°Cの温度において、フッ化水素処理無機酸化物からなる分解剤と接触させることを特徴とするフッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法。

IPC (4件)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/81 ZAB ,  B01D 53/70

FI (3件)：

B01D 53/34 134 Z ,  B01D 53/34 ZAB B ,  B01D 53/34 134 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-181316