特許

J-GLOBAL ID：200903074570671650

炭化珪素体の製造方法

発明者： 田島 善光 ,  古川 勝紀 ,  鈴木 彰
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-019235
公開番号（公開出願番号）：特開平5-221796
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【目的】 多形性の制御された炭化珪素体を提供する。【構成】 昇華再結晶法を利用した炭化珪素体の製造方法であって、所定の割合でアルミニウムを含む炭化珪素粉末を、窒素を含む不活性ガス雰囲気下で昇華させ、再結晶する工程を包含する。昇華再結晶時の不活性ガスの圧力は200torr以下とし、且つ圧力の変化率を毎分5torr以下とする。

請求項（抜粋）：

昇華再結晶法を利用した炭化珪素体の製造方法であって、所定の割合でアルミニウムを含む炭化珪素粉末を、窒素を含む不活性ガス雰囲気下で昇華させ、再結晶する工程を包含し、該昇華および再結晶時に、該窒素を含む不活性雰囲気ガスの圧力を200torr以下とし、かつ圧力の変化を毎分5torr以下とする、炭化珪素体の製造方法。