特許

J-GLOBAL ID：200903074570769951

無方向性高周波数超音波ワイヤボンダ

発明者： 辻野 次郎丸
出願人/特許権者： 辻野 次郎丸
代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125663
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306746
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 超音波ワイヤボンダにおいて、ワイヤの長さ方向と超音波ホーンの方向を合致することを必要としない無方向性高周波数超音波ワイヤボンダを提供すること。【構成】 ワイヤボンダ用超音波振動子が、電歪素子1を超音波ホーン3と背面体2の1軸構造で挟持したボルト締めランジュバン型構造であって、同振動子を共振周波数330KHz以上で縦振動 1波長以上の長さとした無方向性高周波数超音波ワイヤボンダ。

請求項（抜粋）：

ボルト締めランジュバン型超音波振動子と溶接チップからなる超音波ワイヤボンダにおいて、超音波振動子共振周波数を330KHz以上に設定したことを特徴とする無方向性高周波数超音波ワイヤボンダ。