特許
J-GLOBAL ID：200903074570991930
力成分を測定する単結晶材料製のデバイスおよびこのデバイスの製造方法およびこのデバイスの使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-513062
公開番号（公開出願番号）：特表平8-504035
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】垂直平面に対して傾斜した少なくとも1本のカンチレバービーム(1,2,3,4)及びこれに付加された慣性質量を有する、力成分を測定するための単結晶材料製のデバイスを開示する。特に、垂直平面に対するカンチレバービームの角度が、単結晶材料のエッチングにより得られるとともに、当該ビームを構成する結晶面の1つの傾きによって定まり、主として当該カンチレバービームの垂直平面に対して傾斜した曲げが、当該ビームに対して生じることを特徴とする。このデバイスの製造方法も開示する。
請求項（抜粋）：
垂直平面に対して傾斜した少なくとも1本のカンチレバー(1,2,3,4)およびこれに付加された慣性質量(1’,2’,3’,4’)を有する、力成分を測定するための単結晶材料製のデバイスであって、垂直平面に対する前記カンチレバーの角度は前記単結晶材料のエッチングにより得られ、当該ビームを構成する結晶面の1つの傾きにより定まり、かつ実質的に、前記カンチレバービームの、前記垂直平面に対する傾斜した曲げが当該ビームに対して生じることを特徴とするデバイス。
IPC (2件)：
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