結晶成長装置及び結晶成長方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-102518
公開番号（公開出願番号）：特開平7-309694
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【構成】坩堝12内の溶融液13を加熱する加熱手段15と、溶融液13より単結晶20を引き上げる引き上げ手段16と、フュージョンリング部21の幅Wを検出する検出手段30と、フュージョンリング部21の幅Wに基づいて加熱手段15への供給電力及び引き上げ手段16の引き上げ速度を制御する制御手段33とを備えている結晶成長装置。【効果】単結晶20の直径を予測することができ、前もって加熱手段15への供給電力を適切に変更することができ、溶融液13の温度をタイミングよく調整することができるため、単結晶20の直径Dを確実に制御することができ、ウエハの取り扱いを容易にしてコストを削減することができるとともに、単結晶20における品質の低下を防止することができる。

請求項（抜粋）：

結晶用原料を溶融させる坩堝と、該坩堝の周囲に配設された加熱手段と、前記坩堝内の溶融液より単結晶を成長させながら引き上げる引き上げ手段と、前記溶融液と成長する前記単結晶との界面に形成されたフュージョンリング部の幅を検出する検出手段と、前記フュージョンリング部の幅に基づいて前記加熱手段への供給電力及び前記引き上げ手段の引き上げ速度を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする結晶成長装置。

IPC (3件)：

C30B 15/22 , C30B 29/06 502 , C30B 29/06

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭61-122188
特開昭64-037494
特開昭60-027686

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審査官引用 (2件)

特開昭61-122188
特開昭64-037494

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