特許
J-GLOBAL ID:200903074580225950

欠陥検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 勝利
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-156049
公開番号(公開出願番号):特開平9-005302
出願日: 1995年06月22日
公開日(公表日): 1997年01月10日
要約:
【要約】【目的】電気絶縁性機能を検査し、電気的欠陥部位を特定できる方法を提供する。【構成】外観上の表面欠陥検査方法の検査過程の、前段に電界を印加する過程を設け、電気絶縁物体である被検査物内部に電気的弱点があった場合に、そこを起点とした絶縁破壊を生じせしめることによって潜在欠陥を可視化又は拡大させてから、当該表面検査を行う。【効果】従来の外観上の表面検査方法では検出されなかった電気的絶縁欠陥部位を特定できた。
請求項(抜粋):
被検査物である電気絶縁性物体(A)に電界を印加する手段(I)と、前記電界を印加後、所定の時間経過後に、前記物体(A)の外観表面を検査する手段(II)とを有し、前記物体(A)に相対的に絶縁性が劣る部分(a)があった場合に、前記手段(I)によって当該部分(a)を絶縁破壊せしめ、その際に出現する拡大された欠陥を、前記手段(II)によって検査することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (4件):
G01N 27/92 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89 ,  G03G 5/00
FI (4件):
G01N 27/92 D ,  G01N 21/88 A ,  G01N 21/89 A ,  G03G 5/00

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