液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法ならびに前記液体噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-104672
公開番号（公開出願番号）：特開平8-276594
出願日： 1995年04月05日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】液流路の断面が台形になるのを防ぐ。【構成】 Niの保護層18を有する基板10にレジスト40aを塗布し、マスク40dを当接してシンクロトロン放射光を照射し、レジスト40aの未硬化の部分を除去してネガ型パターン40を得る。保護層18を電極としてネガ型パターン40のパターン開口に金属層20aをメッキしたうえで液流路21のネガ型パターン40を除去する。シンクロトロン放射光は平行光であるから液流路21の断面が台形にあるおそれはない。

請求項（抜粋）：

吐出エネルギー発生手段を有する基板と、該基板上に液流路を形成する液流路形成層と、これに結合された天板を有し、前記液流路形成層が、X線によってパターニングされたネガ型パターンを用いて電鋳されたものであることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/05 , B41J 2/01 , B41J 2/16

FI (3件)：

B41J 3/04 103 B , B41J 3/04 101 Z , B41J 3/04 103 H

前のページに戻る