特許

J-GLOBAL ID：200903074588085618

単結晶引き上げ用種結晶及び該種結晶を用いた単結晶引き上げ方法

発明者： 和泉 輝郎
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-055647
公開番号（公開出願番号）：特開平9-249492
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 単結晶16が大重量化した場合に、ネック径が従来の細さであると強度が十分でないため単結晶16が落下してしまう。一方、強度が十分となるようネック径を太くすると、種結晶15の溶融液33への着液時に生じた転位を十分に排除することができない。【解決手段】 ドーパントとしてリン(P)が用いられ、ドーパント濃度が1×1019〜1×1021/cm3 の範囲である、種結晶15を用いる。

請求項（抜粋）：

ドーパントとしてリン(P)が用いられ、ドーパント濃度が1×1019〜1×1021/cm3 の範囲にあることを特徴とする、単結晶引き上げ用種結晶。

IPC (4件)：

C30B 15/36 ,  C30B 15/04 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/36 ,  C30B 15/04 ,  C30B 29/06 502 F ,  H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-139092