特許

J-GLOBAL ID：200903074588724831

メンブレンフィルター表面の異物除去方法

発明者： 八巻 由孝 ,  大内田 淳一
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-076181
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016438
出願日： 1991年04月09日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、簡単な操作でメンブレンフィルター表面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメンブレンフィルター表面の異物除去方法である。【構成】 メンブレンフィルター表面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて除去する。

請求項（抜粋）：

メンブレンフィルター表面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて除去することを特徴とするメンブレンフィルター表面の異物除去方法。