特許

J-GLOBAL ID：200903074589342290

液体吐出装置及び液体吐出装置製造方法

発明者： 松田 理樹
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192952
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025223
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】 薄膜作成技術を用いて液体流路内の液体を効率よく駆動でき、小型かつ量産性に優れた液体吐出装置及び該液体吐出装置製造方法を提供する。【解決手段】 シリコン単結晶基板1には、側壁11に仕切られた複数の液体流路12が形成され、その内部に満たされた充填物13を加熱固化後、薄膜15を堆積させる(図3(a))。このとき、充填物13は各側壁11の上部の高さに一致し、各側壁11間では下向き凸形状となっているので、薄膜15も同様の形状になる。その後、充填物13を除去し、複数の液体流路12とそのカバーとしての薄膜15が共に形成される(図3(b))。その後、薄膜15の上部と各液体流路12下面にそれぞれ電極を形成して駆動電圧を印加すれば、各液体流路12内の液体を加圧して、一端に形成された開口部分から吐出させることができる。これにより、変形量が大きく、駆動効率が良好で、小型化かつ高密度化に好適な液体吐出装置の製造が容易に行われる。

請求項（抜粋）：

側壁によって仕切られ、少なくとも一端に吐出口を有する複数の液体流路が溝状に形成された基板と、前記複数の液体流路全体を覆うカバーとして、前記各側壁の上端部に堆積される薄膜と、前記薄膜を変形させて前記各液体流路内の液体を加圧し、前記各吐出口から液体を吐出させる加圧手段と、を備え、前記薄膜は、前記複数の液体流路内全体に、前記各側壁の上端部の高さから隣り合う各側壁の間では下向き凸形状となるように形成されることを特徴とする液体吐出装置。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (17件)：

2C057AF03 ,  2C057AF37 ,  2C057AF52 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG90 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP59 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05