特許

J-GLOBAL ID：200903074591487735

カンチレバー、及びこれを利用したカンチレバー型プローブ、及びカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置

発明者： 鈴木 朝岳 ,  酒井 邦裕 ,  小口 高弘 ,  山野 明彦 ,  紫藤 俊一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049855
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241781
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡や情報処理装置に用いられ、反りを低減し歩留まりを向上した薄膜積層体からなるカンチレバー状変位素子を提供する。【構成】 圧電体膜と電極膜とを積層して形成されるカンチレバーの上下面に、圧電体膜よりも大きい線熱膨張係数を有する金属膜を、カンチレバー中の残留応力を補償するためのトリミング用部材として設けたカンチレバー。

請求項（抜粋）：

薄膜を積層して形成されるカンチレバーに、該カンチレバー中の残留応力を補償するトリミング用部材を設けたことを特徴とするカンチレバー。

IPC (3件)：

G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28