抵抗型酸素センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-240360
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149189
出願日： 2002年08月21日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】多孔体の抵抗型酸素センサであって、酸素濃度が変化したときの出力信号の応答時間が短く、かつ、酸素濃度検出部である多孔体が優れた強度を有する酸素センサを提供する。【解決手段】酸化物半導体の微粒子で構成される多孔体からなる抵抗型酸素センサであって、酸化物半導体微粒子の平均粒径が200nm以下である抵抗型酸素センサであり、上記酸化物半導体として、酸素空孔の拡散係数が大きい酸化セリウムあるいは酸化セリウムを含む複合酸化物が使用される。【効果】本発明の酸素センサは、構造が簡単であり、応答性及び酸素濃度検出部である多孔体の強度に優れている。

請求項（抜粋）：

酸素濃度検出部が酸化物半導体微粒子により構成された多孔体からなる抵抗型酸素センサであって、酸化物半導体微粒子の平均粒径が200nm以下であることを特徴とする抵抗型酸素センサ。

Fターム (18件)：

2G046AA07 , 2G046BA01 , 2G046BA08 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC05 , 2G046DB05 , 2G046DC14 , 2G046FB02 , 2G046FE03 , 2G046FE18 , 2G046FE20 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE49

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-238262
特開昭57-030938
特開昭55-124058

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