特許
J-GLOBAL ID：200903074597977700
基板搬送用ロボットハンド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307846
公開番号（公開出願番号）：特開平10-146784
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】品質面への悪影響を防止すると共に、大型又は薄板基板によるタワミが生じても基板を安定確実に搬送させる。【解決手段】基板1の外周に対向して配設される一対の支持アーム13と、これら支持アーム上に回動自在に装着された複数の真空吸着部材15とを備え、基板の周縁下面を真空吸着部材により保持する構成。
請求項（抜粋）：
基板の外周に対向して配設される一対の支持アームと、該一対の支持アーム上に回動自在に装着された複数の真空吸着部材とを備え、基板の周縁下面を前記真空吸着部材により保持することを特徴とする基板搬送用ロボットハンド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 15/06 M
, B25J 15/04 A
