特許
J-GLOBAL ID：200903074600151419

研磨液組成物及び研磨方法

発明者：
毛利 大介

毛利 大介 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051987
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249713
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 表面を平滑に研磨可能な研磨液組成物及び当該研磨液組成物に適した研磨方法を提供すること。【解決手段】 水、平均粒径が0.3μm以下の多結晶ダイヤ及び研削油を含有する研磨液組成物及び、この研磨液組成物を用い、研磨用組成物の吸水度が50mm/分未満8mm/分以上の素材を用いて研磨する研磨方法。
請求項（抜粋）：
水、平均粒径0.3μm以下の多結晶ダイヤ及び研削油を含有することを特徴とする研磨液組成物。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 1/00 ,  G11B 5/84
FI (3件)：
B24B 37/00 H ,  B24B 1/00 Z ,  G11B 5/84 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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