特許

J-GLOBAL ID：200903074601235055

表面微量欠陥の定量方法

発明者： 伊藤 憲昭 ,  中井 靖男 ,  服部 賢 ,  岡野 晃子
出願人/特許権者： 名古屋大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267469
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118035
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】簡単に表面の欠陥量を定量化できる方法を提供すること。【構成】高真空容器内で作成された試料を用いて、前記試料の表面に関する、レーザビーム強度のアブレーション閾値を決定する。前記アブレーション閾値より少し大きな強度のレーザビームを前記表面に照射して、前記表面からの原子の第1の放出収量を測定して空格子型欠陥量を決定すると共に、前記アブレーション閾値より少し低い強度のレーザビームを前記表面に回照射して、前記表面からの原子の第2の放出収量を求め、この第2の放出収量を基に、速やかに減衰する部分の面積を決定することにより付加原子型欠陥量を求め、徐々に減衰する部分の大きさを決定することによりステップ型欠陥量を求める。

請求項（抜粋）：

高真空容器内で作成された試料を用いて、前記試料の表面に関する、レーザビーム強度のアブレーション閾値を決定するステップと、前記アブレーション閾値より少し大きな強度のレーザビームを前記表面に照射して、前記表面からの原子の第1の放出収量を測定して空格子型欠陥量を決定すると共に、前記アブレーション閾値より少し低い強度のレーザビームを前記表面に回照射して、前記表面からの原子の第2の放出収量を求め、この第2の放出収量を基に、速やかに減衰する部分の面積(放出原子総数量)を決定することにより付加原子型欠陥量を求め、徐々に減衰する部分の放出収量の大きさを決定することによりステップ型欠陥量を求めるステップと、を具備することを特徴とする表面微量欠陥の定量方法。