特許
J-GLOBAL ID：200903074602370290
保湿剤を含有する研磨用懸濁液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小宮 良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378040
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329688
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】シリコンウエハー等を精密に研磨する際に用いられ、研磨後の水での洗浄の際に残留物を残すことなく確実に洗い流すことのできる研磨用懸濁液を提供する。【解決手段】研磨用懸濁液は、ヒュームドシリカ、ヒュームドアルミナ、高純度酸化セリウムから選ばれる少なくとも一種類の研磨材がアルカリ水溶液に分散し、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン、プロピレングリコール、ポリグリセリン、グリセリンのエチレンオキサイド付加物、エチレン-プロピレンブロック共重合物から選ばれる少なくとも一種類の保湿剤を含有している。
請求項（抜粋）：
ヒュームドシリカ、ヒュームドアルミナ、高純度酸化セリウムから選ばれる少なくとも一種類の研磨材がアルカリ水溶液に分散し、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン、プロピレングリコール、ポリグリセリン、グリセリンのエチレンオキサイド付加物、エチレン-プロピレンブロック共重合物から選ばれる少なくとも一種類の保湿剤を含有していることを特徴とする研磨用懸濁液。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, B24B 37/00
, C09K 3/14 550
, C09K 3/14
H01L 21/304 622 D
, B24B 37/00 H
, C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 Z
3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CB01
, 3C058DA17
