変位検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：木下實三 , 中山寛二 , 石崎剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-123650
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300763
出願日： 2005年04月21日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】ワークとのギャップ変動や温度変化に影響を受けることなくワークとの相対変位を高精度に検出する変位検出装置を提供する。【解決手段】ワーク表面Sに向けてレーザー光を照射する照明光学系120と、ワーク表面Sにて散乱された光により生成されるスペックル像を撮像するCCDカメラ130と、を備える。CCDカメラ130にて撮像したスペックル像の変化に基づいて、ワークWの法線に略直交する方向へのワークWの相対変位量を検出する。照明光学系120は、ワーク表面Sに対して略垂直にレーザー光を照射する。CCDカメラ130は、ワーク表面Sの略垂直方向に向けて散乱される光を受光する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ワーク表面に向けてレーザー光を照射する照明光学系と、ワーク表面にて散乱された光により生成されるスペックル像を撮像する撮像手段と、を備え、撮像した前記スペックル像の変化に基づいて、前記ワークの法線に略直交する方向へのワークの相対変位量を検出する変位検出装置であって、前記照明光学系は、前記ワーク表面に対して略垂直に前記レーザー光を照射し、前記撮像手段は、前記ワーク表面の略垂直方向に向けて散乱される光を受光することを特徴とする変位検出装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (3件)：

G01B11/00 B , G01B11/00 G , G01B11/00 H

Fターム (16件)：

2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065FF04 , 2F065FF56 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM02 , 2F065QQ38 , 2F065UU01 , 2F065UU05

引用特許：

審査官引用 (7件)

走査電子画像を形成する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-020135 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
光学的変位量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-164222 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特開昭60-071911

全件表示

前のページに戻る