特許
J-GLOBAL ID：200903074608483356
光学式外観検査方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横沢 志郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299242
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132956
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 研磨表面等の凸状欠陥を凹状欠陥から識別可能な光学式外観検査装置を提案すること。【解決手段】 光学式外観検査装置では、検査対象のワーク表面w1に対して、その垂線方向から第1の平行光を照射することにより、ワーク表面の凹凸状欠陥が、グレーから黒色の部分として写ったワーク表面画像が得られる。この状態で、ワーク表面w1に対して、当該ワーク表面w1に平行な方向から当該ワーク表面w1に沿ってライン状の平行光L4を照射すると、ワーク表面の凹状欠陥w2はそのままで、凸状欠陥w3の部分のみが白く光ったワーク表面画像が得られる。よって、当該ワーク表面画像を見ることにより、白く光っている凸状欠陥w3をグレーから黒色のままの凹状欠陥w2から簡単に識別できる。
請求項（抜粋）：
検査対象のワーク表面に対して、垂直方向からから第1の平行光を照射し、前記ワーク表面からの第1の反射光像を、前記第1の平行光と同軸上の位置で撮像し、撮像された第1のワーク表面画像に基づき前記ワーク表面の凹凸欠陥を判別する光学式外観検査方法において、前記ワーク表面に平行な方向から、当該ワーク表面に沿って、第2の平行光を照射し、当該第2の平行光による前記ワーク表面からの第2の反射光像を、前記第1の平行光と同軸上の位置で撮像し、撮像された第2のワーク表面画像に基づき前記ワーク表面の凸欠陥を判別することを特徴とする光学式外観検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/84 D
, G01B 11/30 C
