特許
J-GLOBAL ID：200903074612103070
イオンビーム電流測定装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279160
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135099
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 加速器等により加速されたイオンビームの流れを遮断せずイオンビーム電流を非接触で精度良く測定する装置および方法を提供する。【構成】 真空配管10中を流れるイオンビームにより生じた磁場が磁気コレクタ(パーマロイ)16により超伝導素子14に導かれ、冷却部20により冷却された超伝導素子はその磁場の磁束を検出し、イオンビーム電流計26に表示することにより、イオンビーム電流が測定される。外部磁場の影響を除くため真空配管の周りに磁気シールド18が設けられている。
請求項（抜粋）：
イオンビームの流れにより生じ、前記イオンビーム電流に対応した磁場を収集する磁場収集手段と、前記磁場収集手段により収集された磁場に感応する超伝導素子を有し、前記磁場の磁束を測定する磁束測定手段と、前記超伝導素子が前記磁場に感応する温度に前記超伝導素子を冷却する冷却手段と、前記イオンビームが流れている空間、前記磁場収集手段および前記超伝導素子をこれらに対する外部の磁場から磁気遮蔽する磁気遮蔽手段とを備えることを特徴とするイオンビーム電流測定装置。
IPC (4件)：
H05H 7/00
, G01R 33/02
, G01R 33/035
, H05H 13/04
