特許

J-GLOBAL ID：200903074615393486

電子線照射装置

発明者： 後藤 均 ,  藤盛 良治
出願人/特許権者： 岩崎電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276264
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087997
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 トレイ内の被処理物を安定して搬送することができる電子線照射装置を提供する。【構成】 位置x1 から位置x2 までは搬送速度を徐々に増加しながらトレイ14を搬送する。位置x2 から処理ゾーンZを越えた所定位置x5 まではトレイ14を一定速度v0 で搬送し、処理ゾーンZで電子線を被照射物に照射する。その後、位置x5 から位置x6 までは搬送速度を速度vE までゆっくり減少させながらトレイ14を搬送する。位置x6 からはトレイ14を一定速度vE で搬送する。最後に、位置x7 で位置検出センサ26bによりトレイ14を検出し、パルスモータ22の駆動を止めて、トレイ14を停止させる。

請求項（抜粋）：

加速した電子線を被処理物に照射する電子線照射領域と、被処理物が入ったトレイを前記電子線照射領域に搬送する搬送手段とを備える電子線照射装置において、前記電子線照射領域の手前側では前記トレイの搬送速度を徐々に速くするように制御する搬送速度制御手段を設けたことを特徴とする電子線照射装置。