特許
J-GLOBAL ID：200903074616327460
同軸駆動部を有する平行リンクロボット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093047
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042602
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ等の試料を2枚同時に搬送できるような寸法の試料台を取付けることができ、スループット(処理量)の向上が可能な搬送ロボットを提供すること。【構成】 同軸駆動部の内軸1aと外軸2aにそれぞれ一端を固定したアーム21,22と、それぞれに平行なアーム23,24とによって第1の平行リンクAを形成すると共に、アーム23を共通にし平行アーム27,28とその端部に取付けた試料台19とによって第2の平行リンクBを形成する。両平行リンクAとBは、アーム22の端部に軸25aを固定された歯車25と、アーム27の端部に軸26aを固定された歯車26をかみ合せることによって、両平行リンクA,Bを互いに連係して組合わせ、ダブルリンクを形成し、試料台19に伸縮と旋回運動をさせる。
請求項（抜粋）：
同軸駆動部の内軸及び外軸にそれぞれ一端を固定した2個のアームを用いて第1の平行リンクを形成し、該第1の平行リンクにおける内軸又は外軸に固定した一方のアームと平行の対向するアームの少くとも一部を共通にした第2の平行リンクを形成し、該第2の平行リンクの共通のアームに対向する位置に該共通アームと平行に試料台を、2個の平行アームの端部に長手方向の2個所で支持して取付け、これら第1及び第2の各平行リンクを構成するそれぞれ一つのアームの同軸駆動部と反対側の一端を、上記共通のアームの軸上にそれぞれ支持された同期歯車の軸にそれぞれ固定し、これら第1及び第2の両平行リンクを互いに連係して組合わせダブルリンクを形成したことを特徴とする同軸駆動部を有する平行リンクロボット。
IPC (2件)：
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