特許

J-GLOBAL ID：200903074620473196

静電チャック

発明者： 宮田 征一郎
出願人/特許権者： 宮田 征一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094330
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256359
出願日： 1997年03月08日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 静電吸着した半導体基板等の被処理物の温度を急速制御、精密制御できる静電チャックの構造に係わる。【解決方法】 誘電体セラミックと該セラミックの底面に形成された電極を備えてなる静電吸着機構底面に加熱機構を結合し、該加熱機構の底面に冷却機構を結合した構造からなり、該加熱機構は、電気絶縁性で、線膨張係数が同じあるいは近似した二枚のセラミック基材の間に該セラミックに融着性の電熱材料の膜を挟み、該膜が該二枚の基材に焼結あるいは溶融融着した構造からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

誘電体セラミックと該セラミックの底面に形成された電極を備えてなる静電吸着機構の底面に加熱機構を結合した構造からなり、該加熱機構は、電気絶縁性で、線膨張係数が同じあるいは近似した二枚のセラミック基材の間に該セラミックに融着性の電熱材料の膜を挟み、該膜が該二枚の基材に溶融融着した構造からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D