単結晶体引き上げ装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-006847
公開番号（公開出願番号）：特開2004-217469
出願日： 2003年01月15日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】覗き窓部における透明板の透明性や透視性を良好に維持でき、長期間安定的に単結晶体を製造できる単結晶引き上げ装置を開発すること。【解決手段】開口端が透明板により閉塞されてなる筒状の覗き窓部がチャンバーの上部に設けられてなるフッ化カルシウム等の単結晶引き上げ装置において、当該覗き窓部の周壁に冷却ジャケット等の冷却器を設けるか、覗き窓部内の開口端近傍に、不活性ガスの噴出機構を設けることを特徴とする前記単結晶引き上げ装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

開口端が透明板により閉塞されてなる筒状の覗き窓部がチャンバーの上部に設けられてなる単結晶引き上げ装置において、当該覗き窓部の周壁に冷却器が設けられてなることを特徴とする前記単結晶引き上げ装置。

IPC (2件)：

C30B15/00 , C30B29/12

FI (2件)：

C30B15/00 Z , C30B29/12

Fターム (6件)：

4G077AA02 , 4G077BE02 , 4G077CF10 , 4G077EA02 , 4G077EG30 , 4G077HA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

単結晶製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-196646 出願人：株式会社ジャパンエナジー
特開昭50-140055

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