特許
J-GLOBAL ID：200903074644188530
異物検査装置の最適閾値の設定方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-112365
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133906
出願日： 1991年04月17日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 パターン付きウエハに照射された波長の異なるレーザ光の反射光を光電変換器で受光し、低角度照射または高角度照射の各反射光に対する出力電圧VLとVHの電圧比VL/VHを求め、これをコンパレータを用い閾値mと比較してパターンを除いた異物のみを検査する。その際閾値として適当な小さい数m′を予め設定し被検査ウエハと同一ロットの試験ウエハに対して検査し、検出物に対する電圧比を計算してその値に対する検出物の頻度分布図を作成する。それより最適閾値Mを決定し、これをコンパレータに設定し同一ロットの被検査ウエハを検査する。頻度分布図で比較的小さい電圧比の範囲に検出物の多数が集中した群と、同様な範囲に小数が分散した群との境界点の電圧比を最適閾値Mとし、m′やMの設定、電圧比の計算や図作成は計算機による。【効果】 最適閾値Mは適正、迅速に決定され、ウエハ検査の信頼性の向上と効率化に寄与する。
請求項（抜粋）：
被検査のパターン付きウエハに対して、異なる波長のレーザビームを照射し、それぞれの反射光を光電変換器により受光し、該光電変換器の出力する各反射光に対する電圧VL とVH の電圧比VL/VH を求め、該電圧比をコンパレータにより閾値mと比較し、前記パターンを除いて異物のみを検出する異物検査装置において、予め前記コンパレータの閾値として適当な小さい数m′を設定し、前記被検査のウエハと同一ロットのテストウエハに対する検査を行い、該検査により検出された検出物に対する前記電圧比VL /VH を計算し、該電圧比VL /VH の大きさに対する該検出物の頻度分布図を作成し、該頻度分布図により最適閾値Mを求め、該最適閾値Mを前記コンパレータに設定して前記同一ロットのウエハに対する検査を行うことを特徴とする、異物検査装置の最適閾値の設定方式。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
