特許
J-GLOBAL ID：200903074651061180
透明導電膜およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340156
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175837
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示パネルの透明電極等として利用される透明導電膜については、樹脂基板上にも導電性および光透過性に優れたものを形成することができるよう、低基板温度下に成膜した場合にも優れた導電性および優れた光透過性を示すことが望まれているが、従来の透明導電膜ではこのような要望を満たすことができない。【解決手段】 インジウム(In),亜鉛(Zn),酸素(O)および少なくとも1種のハロゲンを必須構成元素とする非晶質酸化物によって透明導電膜を形成する。
請求項（抜粋）：
インジウム(In),亜鉛(Zn),酸素(O)および少なくとも1種のハロゲンを必須構成元素とする非晶質酸化物からなることを特徴とする透明導電膜。
IPC (4件)：
C03C 17/245
, C23C 14/08
, H01B 5/14
, H01B 13/00 503
C03C 17/245 A
, C23C 14/08 D
, H01B 5/14 A
, H01B 13/00 503 B
