特許

J-GLOBAL ID：200903074651370980

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 岡崎 雄一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155797
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353428
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】層内レンズの形状を最適化することができ、入射光の集光状態が改善された固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板11に形成された複数の受光部12と、基板11上に形成され、受光部12の上方に開口部を有する遮光膜16と、遮光膜16上に形成された段差調整膜18と、少なくとも受光部12上に形成され、段差調整膜18の形成状態に応じて所定の曲率をもった窪み19aを上面に有する光学的に透明な層間膜19と、少なくとも窪み19aの上に形成され、集光機能を有する光透過膜20とを有する。

請求項（抜粋）：

基板に形成された複数の受光部と、前記基板上に形成され、前記受光部の上方に開口部を有する遮光膜と、前記遮光膜上に形成された段差調整膜と、少なくとも前記受光部上に形成され、前記段差調整膜の形成状態に応じて所定の曲率をもった窪みを上面に有する光学的に透明な層間膜と、少なくとも前記窪みの上に形成され、集光機能を有する光透過膜とを有する固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00

FI (2件)：

G02B 3/00 Z ,  H01L 27/14 D

Fターム (21件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA03 ,  4M118CA26 ,  4M118DA40 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118FA45 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD20