特許
J-GLOBAL ID：200903074653429583
レ-ザ反射鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061125
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228677
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 炭酸ガスレ-ザのスキャナ-光学系に用いられる反射鏡はこれを揺動してレ-ザ光を左右に走査する必要がある。レ-ザ光が照射された対象に接近して設けられるので、対象物から溶融物が飛散することもあるから、これが付着しにくくしかも機械的強度があって耐熱性があることが望まれる。【構成】 レ-ザ反射鏡として、SiまたはSiCを基板とし、この上にクロム層、金層、モリブデン層を形成している。モリブデン層はスパッタリング法で形成する。溶融物が付着し難い。付着しても容易に除去できる。
請求項（抜粋）：
炭酸ガスレ-ザの光を対象物に照射し対象物を加工しまたは熱処理する機構の光学系に使用される反射鏡であって、シリコン(Si)または炭化ケイ素(SiC)の基板と、この上に形成されたクロム(Cr)層と、クロム層の上に形成された金(Au)層と、金層の上に形成されたモリブデン(Mo)層とよりなることを特徴とするレ-ザ反射鏡。
IPC (5件)：
B23K 26/06
, C23C 14/18
, G02B 5/08
, G02B 5/26
, G02B 26/10 101
