特許

J-GLOBAL ID：200903074659106646

絶縁部材の表面処理方法及び絶縁部材の表面処理装置

発明者： 相馬 誠
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-331627
公開番号（公開出願番号）：特開2005-095744
出願日： 2003年09月24日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】プラズマを用いた表面処理を行なった後の表面処理の効果の低減を少なくする絶縁部材の表面処理方法及び絶縁部材の表面処理装置を提供する【解決手段】 絶縁材料により形成される被処理物Pを移動させる搬送手段1と、プラズマ生成用ガスGが流入する流入口2aaと生成されたプラズマPLを被処理物Pに向けて吹き出す吹出口2abとを備える反応容器2aと、反応容器2a内に流入したプラズマ生成用ガスGに電圧を与えてプラズマPLを生成するプラズマ生成部2bと、被処理物Pから非接触で電荷を取り除く除電部3とを備え、搬送手段1は、反応容器2aから吹き出されたプラズマPLと接触する位置から除電部3により非接触で電荷が取り除かれる位置に被処理物Pを移動させるように形成している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

反応容器内のプラズマ生成用ガスに電圧を印加することによりプラズマを生成し、生成されたプラズマを絶縁材料により形成される被処理物に接触させてから、その被処理物を除電する処理を行う絶縁部材の表面処理方法。

IPC (4件)：

B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/24

FI (4件)：

B01J19/08 E ,  B08B7/00 ,  H05H1/24 ,  H01L21/302 102

Fターム (22件)：

3B116AA02 ,  3B116AA46 ,  3B116AB14 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01 ,  4G075AA30 ,  4G075BC10 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EA01 ,  4G075EA03 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EC25 ,  4G075ED11 ,  4G075EE02 ,  5F004AA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB24 ,  5F004DB00 ,  5F004FA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許3147137号公報