特許

J-GLOBAL ID：200903074663047778

リン拡散用組成物

発明者： 中馬 明博
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082677
公開番号（公開出願番号）：特開平8-283100
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】 リン供給源とアルコキシシランの部分加水分解物とを有機溶媒に溶解した溶液からなる、塗布拡散法によりシリコンウェーハにリンをドーピングするためのリン拡散用組成物において、溶液の保存安定性を高め、20Ω/□以下の低抵抗の不純物拡散領域を確実に形成する。【構成】 リン供給源として、五酸化リンとヘキサアルキルジシロキサンとの反応物を使用する。

請求項（抜粋）：

リン供給源とアルコキシシランの部分加水分解物とを含む、塗布拡散法によりシリコンウェーハにリンをドーピングするためのリン拡散用組成物であって、リン供給源が五酸化リンと有機ジシロキサン化合物との反応物であることを特徴とする、リン拡散用組成物。

IPC (3件)：

C30B 31/00 ,  C07F 9/09 ,  H01L 21/225

FI (3件)：

C30B 31/00 ,  C07F 9/09 Z ,  H01L 21/225 R