特許
J-GLOBAL ID：200903074681682693
被処理体の保持装置及び処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265865
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099231
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエハなどの被処理体の周縁部を押圧してこれを載置台上に保持させる場合、前記周縁部に前工程の際に発生した凸部が形成されていても、当該被処理体にひびやクラックを発生させず、歩留まりの向上を図る。【構成】 ウエハの周縁部を載置台に対して相対的に押圧することになるクランプリング21の周縁部25の下面に、適宜凹部26を形成させる。ウエハの周縁部に前工程の際に発生した凸部が形成されていても、当該凸部は前記凹部26内に収納されるので、押圧した際にこの凸部に荷重がかからず、ウエハにひびが入ったり、クラックが発生することはなく、汚染の原因となるパーティクルも発生しない。
請求項（抜粋）：
載置台に載置される被処理体の外周縁部を、適宜の押圧治具によって相対的に載置台側に押圧して、前記被処理体を前記載置台上に保持する如く構成された被処理体の保持装置であって、前記押圧治具における前記被処理体の外周縁部との接触面に、前記外周縁部上に形成された凸部を収納しうる形態の凹部を形成したことを特徴とする、被処理体の保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/06 302
, H01L 21/3065
