特許

J-GLOBAL ID：200903074689141985

研磨皿の合わせ方法

発明者： 冨田 淳資
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306239
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121391
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】 ウレタンパッドを貼着した研磨皿の研磨球面を形成する合わせ工具のダイヤモンドペレット皿の球面精度の持続性および安定性を向上させるとともにウレタンパッドの表面を均一な球面精度に形成する。【解決手段】 光学素子の研磨加工に使用する研磨皿1に貼着したウレタンパッド2の研磨球面6を、オスカータイプ研磨機にて、ダイヤモンドの砥粒および金属材料を主成分として焼結したダイヤモンドペレット皿4を接着した合わせ工具5を用いて形成する際に、ダイヤモンドペレット皿4を、研磨皿1の半開角θ1に対して10%〜30%の傾斜角θ2 をもって研磨皿1のウレタンパッド2に当接させて、ダイヤモンドペレット皿4を研磨皿1の半開角θ1 に対して20%〜30%の範囲で揺動運動させる。これにより、ウレタンパッド2を均一な研磨球面に形成でき、ダイヤモンドペレット皿4の球面精度の持続性が得られる。

請求項（抜粋）：

光学素子の研磨加工に使用されるウレタンパッドを貼着した研磨皿の研磨表面を、ダイヤモンドの砥粒および金属材料を主成分として焼結したダイヤモンドペレット皿を用いてオスカータイプ研磨機にて形成する研磨皿の合わせ方法において、前記ダイヤモンドペレット皿を傾斜角をもって前記研磨皿のウレタンパッドに当接させて該ウレタンパッドの研磨球面に形成することを特徴とする研磨皿の合わせ方法。

IPC (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 53/06 ,  B24B 53/12

FI (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 53/06 A ,  B24B 53/12 Z

Fターム (9件)：

3C047AA15 ,  3C047CC09 ,  3C047EE15 ,  3C049AA04 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049AB06 ,  3C049BC02 ,  3C049CB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 球面形状総型研削工具の製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-183091   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-117550
  
• 特開平3-117550