特許

J-GLOBAL ID：200903074692647482

弾性表面波装置

発明者： 礒部 敦 ,  疋田 光孝 ,  浅井 健吾
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-208787
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061774
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】通過損失が小さく、温度安定性が優れ、経年変化が小さい弾性表面波装置を提供する。【構成】リチウムテトラボレート圧電基板1または窒化アルミニウム圧電薄膜の表面をアルミニウムを主成分とする金属膜2と酸化アルミニウムを主成分とする非金属膜3によって覆う。

請求項（抜粋）：

潮解性のある圧電基板と、その表面に弾性表面波を送受信することを目的に形成された櫛形電極からなる弾性表面波装置において、前記圧電基板の表面の櫛形電極部を、アルミニウムを主成分とする金属膜と酸化アルミニウムを主成分とする絶縁膜によって覆うことを特徴とする弾性表面波装置。