特許
J-GLOBAL ID：200903074692717006
中性化学種の検出方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315912
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163171
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】マイクロ波プラズマエッチングにおいて、生成した中性化学種を負イオン化した後、高精度でモニタしてエッチング終点を検出する。【解決手段】プラズマから入射する電子およびイオンのリタード手段,中性化学種の負イオン化手段,負イオンの質量分離手段、および負イオンの検出手段から構成される。
請求項（抜粋）：
マイクロ波プラズマエッチングにおいて、荷電粒子をリタードした後、中性化学種を負イオン化し、負イオン化した化学種を質量分析し検出することを特徴とする中性化学種の検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
