特許
J-GLOBAL ID：200903074695215974
脆性材料の加工方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126388
公開番号（公開出願番号）：特開平7-075944
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 延性モード領域の研削加工を通常の研削加工装置を用いて実現可能にする。【構成】 保持基台上に付設された無数の砥粒からなる砥石を、脆性材料からなる被加工物の被加工面に対して所定圧力で押し当てつつ、被加工物との相対移動動作に伴い前記被加工面の研削乃至研磨加工するため、無数の砥粒の内、研削乃至研磨加工に関与する砥粒の被加工面への切込深さdを、被加工物の脆性破壊が生じる最小の切込深さの臨界切込深さdC 以下となるように所定圧力を設定して研削乃至研磨加工を行う。
請求項（抜粋）：
保持基台上に付設された無数の砥粒からなる砥石を、脆性材料からなる被加工物の被加工面に対して所定圧力で押し当てつつ、被加工物との相対移動動作により前記被加工面を研削乃至研磨加工する脆性材料の加工方法において、前記無数の砥粒の内、前記研削乃至研磨加工に関与する砥粒の前記被加工面への切込深さdを、前記被加工物に脆性破壊が生じる最小の切込深さの臨界切込深さであるdC 以下となるように前記所定圧力を設定して研削乃至研磨加工を行うことを特徴とする脆性材料の加工方法。
引用特許：
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