特許

J-GLOBAL ID：200903074701929690

ガスセンサ

発明者： 平田 陽三
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064122
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270357
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【構成】 ガス感応膜24により気体の蒸気濃度を検出するとともに、ガス感応膜24を加熱するための発熱体25により該発熱体25近傍の気体を加熱し、発熱体25の両外端部に設けられた感温体26,27で、加熱された気体の移動に伴う温度変化を検知することにより気体の流量を検出する。【効果】 ガス濃度検知用の発熱体とガス流速検知用の発熱体とを共用することになるため、ガス濃度及びガス流速を検知するためのコストの増加を最小限に抑えることができる。

請求項（抜粋）：

気体の流路途中に設けられるガスセンサであって、一の半導体基板の表面に、気体に含有される所定ガスに表面がさらされることにより内部の電気的性質が変化するガス感応膜と、該ガス感応膜の電気的性質の変化を検出するために前記ガス感応膜に接して設けられる電極と、前記ガス感応膜の電気的性質の変化を促進するために前記ガス感応膜を加熱する発熱体と、気体の温度変化を検知するため該発熱体の近傍に位置する感温体とを形成してなることを特徴とするガスセンサ。