特許
J-GLOBAL ID：200903074703944247
ニオブ酸リチウム単結晶膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179831
公開番号（公開出願番号）：特開平7-010695
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】 表面にしわが寄ったり、クラックが入らない鏡面状の表面を有する所望組成のニオブ酸リチウム単結晶膜をLPE法によって得る方法を供する。【構成】 基板にコングルエント組成のニオブ酸リチウム単結晶のZ板を用い、この上に所望組成のニオブ酸リチウム単結晶の液相線に対応する組成のLi2O-Nb2O5系メルトよりニオブ酸リチウム単結晶膜を育成しておき、この育成膜面を平滑にしてこの上に、所望組成のニオブ酸リチウム単結晶膜をフラックス法で育成する。
請求項（抜粋）：
ニオブ酸リチウム単結晶基板上に該基板とは組成の異なるニオブ酸リチウム単結晶膜をフラックスを含む融液より液相エピタキシャル成長させるニオブ酸リチウム単結晶膜の製造方法において、コングルエント組成のニオブ酸リチウム単結晶基板と所望組成のニオブ酸リチウム単結晶膜との間に、所望組成に近い組成のニオブ酸リチウム単結晶膜の層をLi2O-Nb2O5系メルトより液相エピタキシャル成長させておくことを特徴とするニオブ酸リチウム単結晶膜の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/30
, C30B 19/04
, G02F 1/35 505
, H03H 3/08
