特許
J-GLOBAL ID：200903074708077592
ナノチャンネルフィルター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-501470
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502200
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】本発明は、1ミクロン未満の平均直径を有するチャンネルをその中を通して有するウエーハ状ガラスフィルターを提供する。本発明は、また、そのようなフィルターを形成するための方法であって、不活性中空ガラスチューブのそれぞれに酸によりエッチング可能なガラスロッドを挿入し、該ロッド及びチューブを加熱してそれぞれのロッドをそれぞれのチューブに融着させ、融着したロッド及びチューブのそれぞれを延伸し、それによりフィラメントを形成し、該フィラメントの複数を互いに堆積してフィラメントの堆積物を作り、該フィラメントの堆積物を加熱してフィラメントを融着させてエッチング可能なガラスを充填した複数のチャンネルを有する長い棒状体を形成し、該棒状体を各チャンネルが1ミクロン未満の直径を有するまで延伸し、延伸した棒状体を切断してウエーハ状のフィルターを形成し、高められた温度で該フイルターをアニールし、及び該ウエーハ状フィルター中のエッチング可能なガラスを酸でエッチングして約1ミクロン未満の平均直径を有するチャンネルをその中に形成する工程を包含する方法を提供する。本発明は、また、フィルターを製造するための他の方法であって、酸によりエッチング可能なガラスフィラメントを酸に対して不活性のガラスフィラメントともに堆積して、酸によりエッチング可能なガラスフィラメントの配向されたアレーを有するフィラメントロッドの堆積物を形成し、該フィラメントの堆積物を加熱してフィラメントを互いに融着させてエッチング可能なガラスが充填された複数のチャンネルを有する長い棒状体を形成し、該長い棒状体を各チャンネルかlミクロン未満の直径を有するまで延伸し、該延伸された棒状体を切断してウエーハ状フィルターを形成し、高められた温度で該フィルターをアニールし、及び該ウエーハ状フィルター中のエッチング可能なガラスを酸でエッチングして約1ミクロン未満の平均直径を有するチャンネルをその中に形成する工程を包含する方法を提供する。
請求項（抜粋）：
1ミクロン未満の平均チャンネル直径を有するチャンネルをその中を通して有するガラスフィルター。
IPC (2件)：
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