特許
J-GLOBAL ID：200903074715543027
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341425
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161656
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 除塵フィルタ部を備えた循環用通気路を通じて移載室内に気流を形成する熱処理装置において、除塵フィルタ部から飛散する不純物の悪影響を低減すること。【構成】 熱処理炉2の下方側の移載室3内に気流を形成するように、送風ファン43及びシャッタSが配置された循環ダクト部4を設け、その吹き出し口に除塵フィルタ部5を配設する。またこのフィルタ部5の前方側に、多数の吹き出し穴60が形成された例えば3本の空気供給管60〜62を夫々所定の高さ位置に設け、これらの基端側に開閉弁63を介して清浄気体供給源64を接続する。ウエハWのアンロード開始後ウエハボート32からウエハWを取り外す間は清浄気体供給源64よりの清浄気体を移載室3内に通流し、気流の循環を停止しておく。
請求項（抜粋）：
被処理体を被処理体保持具に保持させて移載室から反応管内に対して搬入、搬出し、吸い込み口及び吹き出し口が移載室に開口すると共に除塵フィルタ部を備えた循環用通気路を通じて、移載室内の気体を循環させる熱処理装置において、清浄気体の供給源と、この供給源からの清浄気体を前記除塵フィルタ部を通さずに移載室内に供給するための供給路と、この供給路に設けられた開閉弁と、この開閉弁を開くと共に循環用通気路の通気を停止する第1のモードと、前記開閉弁を閉じると共に循環用通気路の通気を行う第2のモードとの間で通気モードの切り換えを制御する制御部と、を設けたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H01L 21/324
