特許
J-GLOBAL ID:200903074720658789

有機ELディスプレイの製造方法と製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-036699
公開番号(公開出願番号):特開2001-230075
出願日: 2000年02月15日
公開日(公表日): 2001年08月24日
要約:
【要約】【課題】 簡便な方法で区分された3原色の各発光層を形成でき、汚染されない有機EL材料の被着可能な有機ELディスプレイの製造方法ならびに装置を提供スル。【解決手段】 透明電極付き基板上に発光層を区切り、赤、緑および青色に発光する発光画素を区分して前記区切られた発光層に形成し、それぞれ区分して形成された発光画素の上に電極を形成する有機ELディスプレイを製造するにあたり、赤、緑および青色それぞれについて、常圧の不活性ガスで置換された(108,118)霧発生容器(101)内で有機溶剤に溶かした有機EL材料(102)を霧状にして用意し(120)、該用意された霧状の有機溶剤に溶かした有機EL材料を常圧の不活性ガスで置換された輸送管(119)を介して常圧の不活性ガスで置換された成膜容器(111)内の発光画素区分された基板(112、113)上に輸送して被着させ、前記有機溶剤の乾燥によって固化してそれぞれ赤、緑および青色に発光する薄膜を形成する。
請求項(抜粋):
透明電極付き基板を形成する工程と、該透明電極付き基板上で発光画素毎に発光層を区切る工程と、赤、緑および青色に発光する発光画素をそれぞれ区分して前記区切られた発光層に形成する工程と、それぞれ区分して形成された発光画素の上に電極を形成する工程とを具えてなる有機ELディスプレイの製造方法において、前記赤、緑および青色に発光する発光画素をそれぞれ区分して形成する工程は、赤、緑および青色それぞれについて、常圧の不活性ガスで置換された霧発生容器内で有機溶剤に溶かした有機EL材料を霧状にして用意するサブ工程と、該用意された霧状の有機溶剤に溶かした有機EL材料を常圧の不活性ガスで置換された輸送管を介して常圧の不活性ガスで置換された成膜容器内の発光画素区分された基板上に輸送して付着させるサブ工程と、前記有機溶剤の乾燥によって固化してそれぞれ赤、緑および青色に発光する薄膜を形成するサブ工程とを具えてなることを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法。
IPC (4件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22
FI (4件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z
Fターム (12件):
3K007AB00 ,  3K007AB03 ,  3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03

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