特許

J-GLOBAL ID：200903074722957759

CVD装置の液体原料供給装置

発明者： 沢渡 義規
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305798
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133645
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 液体原料を汚染したり、変質させたりすることなく、安定した状態で連続して確実にCVD装置に供給することができるCVD装置の液体原料供給装置を提供する。【解決手段】 複数の液体原料容器10,20と、各液体原料容器から液体原料を導出するそれぞれの液体原料導出経路11,21及び液体導出手段(押出ガス導入経路12,22)と、液体原料と接触することなく液体原料の有無を検出する液体検出手段51,52と、該液体検出手段51,52の検出結果に基づいて液体原料を導出する経路の切換弁13,23を切換え開閉する経路切換手段61とを備えている。

請求項（抜粋）：

複数の液体原料容器と、各液体原料容器から液体原料を導出するそれぞれの液体原料導出経路及び液体導出手段と、液体原料容器又は液体原料導出経路に設けられ、液体原料と接触することなく液体原料の有無を検出する液体検出手段と、該液体検出手段の検出結果に基づいて液体原料を導出する経路を切換える経路切換手段とを備えていることを特徴とするCVD装置の液体原料供給装置。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/448

FI (2件)：

H01L 21/31 B ,  C23C 16/44 C

Fターム (19件)：

4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030BA46 ,  4K030EA01 ,  4K030KA39 ,  4K030KA46 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045EB05 ,  5F045EC07 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04