特許
J-GLOBAL ID：200903074724781046
アルミニウム系材料のドライエッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183426
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160082
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】パターン幅の広がり等の加工精度上の問題がなく、テーパーの制御性も良く、再堆積によるパーティクル等の汚染問題やコロージョン発生の問題もなくテーパー形状のエッチングを達成でき、よって上層に層間膜を形成する場合なども良好な膜形成を実現できるなどテーパー加工の利点を有効に生かすことができるアルミニウム系材料膜のドライエッチング方法を提供すること。【構成】アルミニウム系材料のエッチング方法において、Al等のアルミニウム系材料1上に金属系材料膜2を形成し、この金属系材料膜2をレジストパターン3をマスクとして該金属系材料膜を構成する元素と蒸気圧の低い反応生成物を形成するガス、例えば金属系材料がWやMoであればHBr、TiONであればSF6 のようなガスによりエッチングし、その後アルミニウム系材料をドライエッチングすることを特徴とするアルミニウム系材料のドライエッチング方法。
請求項（抜粋）：
アルミニウム系材料のエッチング方法において、アルミニウム系材料上に金属系材料膜を形成し、この金属系材料膜をレジストパターンをマスクとして該金属系材料膜を構成する元素と蒸気圧の低い反応生成物を形成するガスによりエッチングし、その後アルミニウム系材料をドライエッチングすることを特徴とするアルミニウム系材料のドライエッチング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, H01L 21/3205
