特許

J-GLOBAL ID：200903074725787153

有機金属化学蒸気浸透による無機膜の製法

発明者： マイクル・フランシス・カロラン ,  ポール・ナイジエル・ダイアー ,  ステイーブン・マーク・フアイン ,  アレグザンダー・マキトカ・ザサード ,  ロビン・エドワード・リチヤーズ ,  レズリー・エロル・シヤーフアー
出願人/特許権者： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348217
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142471
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、酸素含有気体混合物から酸素を分離することができる無機薄膜の製法に関する。【構成】 この薄膜は、多孔性支持体上に沈着された多成分金属酸化物の薄い層の多孔性複合体よりなり、多成分金属酸化物層の孔は金属ベースの品種で充填されている。この無機薄膜は、多孔性支持体上に多孔性多成分金属酸化物層を沈着させて気体を輸送することができる孔の網状構造を有する多孔性複合体を形成させることによって形成される。孔の網状構造は有機金属蒸気浸透によって栓形成又は充填されて貫通多孔性を本質的に有さない無機薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

酸素含有気体混合物から酸素を分離することができる無機薄膜の製法であって、(a) 多孔性支持体上に多孔性多成分金属酸化物を沈着させて気体を輸送することができる小孔の網状組織を有する多孔性複合体を形成させ;(b) この多孔性複合体の第一の表面を蒸気化した有機金属コンプレックスと、そしてこの多孔性複合体の第二の表面を気体反応性剤と、有機金属コンプレックス及び気体反応性剤が反応して多孔性多成分金属酸化物層の小孔中栓を形成させるのに充分な温度及び圧力において接触させて本質的に貫通多孔性を有さない無機薄膜を形成させることを特徴とする方法。