特許

J-GLOBAL ID：200903074727113311

機器の運転状態監視装置

発明者： 田中 博司 ,  大森 雅司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128882
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341931
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 機器の運転状態を常時監視して、異常を即時検出することが可能な機器の運転状態監視装置を得る。【構成】 半導体製造装置1より出力される毎回の処理に伴うアナログ状態信号8の波形を、状態波形比較手段15により基準波形記憶手段12に記憶される基準信号14の波形と比較し、その比較結果が所定の範囲を超えて異なる場合は、異常と判断して状態異常表示手段17により表示する。

請求項（抜粋）：

機器の処理状態を表す状態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段と、入力起動信号をトリガにして上記状態信号の上記機器の処理が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形記憶手段と、上記状態信号の波形と上記基準信号の波形とを上記入力起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段とを備えたことを特徴とする機器の運転状態監視装置。