エキシマーレーザー発振器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池澤寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065918
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013681
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で、かつ調整の容易な、ビーム強度を均一にすることができる光共振器5を備えたエキシマーレーザー発振器を提供すること。【構成】プリズム21の配置する位置を工夫することに着目したもので、全反射鏡3と部分反射鏡3とを備えた光共振器5を有するエキシマーレーザー発振器20であって、光共振器5内の光路上にプリズム21を配置したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

全反射鏡と部分反射鏡とを備えた光共振器を有するエキシマーレーザー発振器であって、前記光共振器内の光路上にプリズムを配置したことを特徴とするエキシマーレーザー発振器。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-229880
特公昭60-010316
特開平1-144691

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