特許
J-GLOBAL ID:200903074733598394
微動機構
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-028317
公開番号(公開出願番号):特開2001-221733
出願日: 2000年02月04日
公開日(公表日): 2001年08月17日
要約:
【要約】【課題】 安定した制振効果を得られ、しかも整定時間が短く高速による位置決めを可能にした微動機構を提供する。【解決手段】 平行ばね微動機構の一部にヒンジ19を介して形成された錘支持アーム18、錘部17、この錘部17と移動部12の間に設けられた粘弾性部材20を有する受動的動吸振器Aにより移動部12の残留振動を制振させる。
請求項(抜粋):
固定部よりヒンジを介して互いに平行に延びる2本のアーム端部にヒンジを介して移動部を形成するとともに、前記固定部に設けられたアクチュエータにより前記アームを介して移動部を移動させる平行ばね微動機構において、前記移動部よりヒンジを介して互いに平行に延びる2本のアーム端部にヒンジを介して前記移動部と平行に形成される錘部と、該錘部と前記移動部との間に介在され、前記移動部の振動に応じて伸縮され該移動部の振動を制振する粘弾性部材とを有する動吸振手段を具備したことを特徴とする微動機構。
IPC (9件):
G01N 13/10
, F16F 7/00
, F16F 15/02
, G02B 7/04
, G02B 7/28
, G02B 21/24
, G05D 19/02
, G12B 21/22
, G12B 5/00
FI (11件):
G01N 13/10 C
, F16F 7/00 E
, F16F 15/02 A
, F16F 15/02 C
, G02B 21/24
, G05D 19/02 D
, G12B 5/00 Z
, G02B 7/04 C
, G02B 7/04 F
, G02B 7/11 J
, G12B 1/00 601 H
Fターム (28件):
2F078CA10
, 2F078CB02
, 2F078CB03
, 2F078CB13
, 2F078CB14
, 2F078CB18
, 2F078CC04
, 2H044BB01
, 2H044BB05
, 2H044BC01
, 2H051AA11
, 2H051DD20
, 2H051FA07
, 2H051FA47
, 2H052AA07
, 2H052AD06
, 3J048AA06
, 3J048AB07
, 3J048AC01
, 3J048AC05
, 3J048AD01
, 3J048AD07
, 3J048BD08
, 3J048BF02
, 3J066AA26
, 3J066BA01
, 3J066BD05
, 3J066DA07
引用特許:
審査官引用 (13件)
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特許第2577423号
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特許第2577423号
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微動機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-038310
出願人:株式会社ニコン
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走査機構及びこれを用いた走査型顕微鏡及び記録再生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-317532
出願人:キヤノン株式会社
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特開平3-074648
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特開平3-074648
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除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-047904
出願人:嶋本篤, 株式会社エリオニクス
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特公平1-015734
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特許第2577423号
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特開平3-074648
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特公平1-015734
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特許第2577423号
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特開平3-074648
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