ホログラフィによる粒子計測装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-141571
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340777
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】ノイズのみを除去し粒子だけを撮影することで計測精度の向上を図ることができるホログラフィによる粒子計測装置を提供する。【解決手段】オフアキシスホログラフィ撮像光学系機器100において、被写体である粒子114に平行光線束となった物体光L1が照射されるとともに、粒子114に照射後の物体光L1に対し傾けて参照光L2が入射されて、物体光L1と参照光L2の干渉縞が記録材料115に記録される。粒子114と記録材料115の間にノイズ除去用リレーレンズ116a,116bが設置されるとともに、リレーレンズ116a,116bの間にピンホール118を有するノイズ除去用ピンホール板117が設置されている。

請求項（抜粋）：

被写体である粒子(114)に平行光線束となった物体光(L1)を照射するとともに、粒子(114)に照射した後の物体光(L1)に対し傾けて参照光(L2)を入射して、前記物体光(L1)と参照光(L2)の干渉縞を記録材料(115)に記録するオフアキシスホログラフィ撮像光学系機器(100)と、撮像した記録材料(115)に再生光(L3)を照射することで、粒子(114)の3次元像(204)を再生し、粒子形状を計測する再生光学系機器(200)と、を備えたホログラフィによる粒子計測装置であって、撮像光学系機器(100)における前記粒子(114)と記録材料(115)の間にノイズ除去用リレーレンズ(116a,116b)を設置するとともに、当該リレーレンズ(116a,116b)の間にピンホール(118)を有するノイズ除去用遮光部材(117)を設置したことを特徴とするホログラフィによる粒子計測装置。

IPC (6件)：

G01N 15/00 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01N 21/47 , G03H 1/02 , G01J 9/02

FI (7件)：

G01N 15/00 A , G01B 11/00 G , G01B 11/00 H , G01N 21/47 A , G03H 1/02 , G01J 9/02 , G01B 11/24 D

Fターム (61件)：

2F065AA04 , 2F065AA53 , 2F065BB07 , 2F065BB22 , 2F065CC00 , 2F065DD04 , 2F065DD12 , 2F065DD15 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF10 , 2F065FF48 , 2F065FF54 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ13 , 2F065JJ26 , 2F065KK03 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065PP02 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065QQ24 , 2F065QQ34 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 2G059AA05 , 2G059BB06 , 2G059BB09 , 2G059CC19 , 2G059EE09 , 2G059FF01 , 2G059FF02 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK04 , 2G059LL02 , 2G059LL04 , 2G059MM10 , 2G059NN01 , 2G059PP04 , 2K008AA00 , 2K008AA06 , 2K008AA08 , 2K008BB00 , 2K008CC00 , 2K008EE01 , 2K008HH01 , 2K008HH06

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