特許
J-GLOBAL ID：200903074745803600
処理装置及び搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277087
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235581
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 処理工程ごとに支持手段か又は保持手段かのいずれかを選択することができるようにし、しかもアームの動作範囲を制御変更することにより、アームを交換することなく対応できる。そして各処理機構への被処理体の受け渡しを円滑に行って、効率よく一連の処理ができる。【構成】 ウエハWに処理を施す複数の処理装置40〜50と、これらの処理装置40〜54にウエハWを搬送するための搬送機構58とを有する処理装置において、上記搬送機構58は、ウエハWの周縁部を複数カ所で支持する支持手段61と、ウエハWの周縁近傍の下面に当接して、これを保持する少なくとも一つの吸着部61を有する保持手段とを備えたアーム59を具備したことを特徴とする処理装置。
請求項（抜粋）：
被処理体に処理を施す複数の処理機構と、これらの処理機構に被処理体を搬送するための搬送機構とを有する処理装置において、上記搬送機構は、被処理体の周縁部を複数箇所で支持する支持手段と、被処理体の周辺近傍に下面に当接して、被処理体を保持する少なくとも一つの吸着部を有する保持手段とを備えたアームを具備したことを特徴とする処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 569 D
