特許

J-GLOBAL ID：200903074749707193

セラミックヒータ

発明者： 苅谷 悟
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271694
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148279
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 発熱体の品質に起因する抵抗のばらつきがなく、正確かつ迅速な温度制御を可能にするセラミックヒータを提供すること。【解決手段】基板の表面に、発熱体を設けてなるセラミックヒータにおいて、その発熱体を非焼結型金属箔もしくは導電性セラミック薄膜にて構成すると共に、この金属箔もしくは導電性セラミック薄膜を前記基板表面に、耐熱性樹脂層等を介して接着してなるセラミックヒータ。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の表面または内部に、非焼結型金属箔または導電性セラミック薄膜で構成される発熱体を設けてなるセラミックヒータ。

IPC (7件)：

H05B 3/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/20 328 ,  H05B 3/20 393

FI (7件)：

H05B 3/14 B ,  H01L 21/66 B ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/12 A ,  H05B 3/20 328 ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加熱ユニットおよびその接続方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-357979   出願人：信越化学工業株式会社
• セラミックスヒーターの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046715   出願人：日本碍子株式会社