特許
J-GLOBAL ID：200903074760290148

欠陥の修正装置及びその修正方法

発明者：
久木田 るり子

久木田 るり子 について

, 
上田 淳

上田 淳 について


出願人/特許権者：
レーザーフロントテクノロジーズ株式会社

レーザーフロントテクノロジーズ株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-032288
公開番号（公開出願番号）：特開2005-221974
出願日： 2004年02月09日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 タクトタイムのより一層の向上及び基板の修正作業後の品質の更なる向上により、フラットパネルディスプレイの生産能率の向上及び製品の歩留まりの向上を実現できるフラットパネルディスプレイの欠陥の修正装置及びその修正方法を提供する。【解決手段】 上位CIM1から欠陥情報等のCIM情報が入力部2に入力される。また、修正機に関する情報が上位CIM以外のデータベースからも入力部2にデータが入力される。演算部3は、入力された前記CIM情報等に基づき、各欠陥同士の相対的な位置関係及び欠陥の種類を求め、さらにそれに基づき、修正対象の欠陥について、その位置、欠陥の種類及び修正方法を含む特定事項を求める。出力部4は、この特定事項を修正機5に対して前記修正対象の欠陥を修正するためのデータとして出力する。修正機5は、出力部4から入力された前記特定事項に基づき、レーザーCVD等で欠陥を修正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
製造工程で発生するフラットパネルディスプレイの欠陥を修正する欠陥修正装置において、基板情報、パネル情報及び欠陥情報を含む情報を入力する入力部と、特定のパネルに生じている複数の欠陥の中から、修正対象の欠陥について、その位置を含む特定事項を前記情報に基づいて求める演算部と、この特定事項を修正機に対して前記修正対象の欠陥を修正するためのデータとして出力する出力部とを有することを特徴とする欠陥修正装置。
IPC (3件)：
G09F9/00 ,  G02F1/13 ,  H01J9/50
FI (3件)：
G09F9/00 352 ,  G02F1/13 101 ,  H01J9/50 A
Fターム (16件)：
2H088FA14 ,  2H088FA15 ,  2H088MA20 ,  2H092JA24 ,  2H092MA46 ,  2H092MA55 ,  2H092NA29 ,  5C012AA09 ,  5C040JA26 ,  5G435AA17 ,  5G435AA19 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM